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朱煜,机械工程系 教授

联系信息

姓名:朱煜 办公电话: 010-62796124 邮箱:zhuyu@tsinghua.edu.cn 地点:清华大学李兆基科技大楼A801-1 教师主页: http://me.tsinghua.edu.cn/publish/jxx/6151/2013/20130407184816851148175/20130407184816851148175_.html

个人简介

博士、博士生导师、清华大学机械工程系机械电子研究所所长、国家“万人计划”首批科技创新领军人才、科技部“重点领域创新团队”带头人、IC装备重大专项实施方案编制专家组和总体专家组副组长(装备组组长)、光刻设备产业技术创新战略联盟副理事长和专家委员会副主任、沈阳IC装备产业技术创新联盟专家委员会副主任、中国机械工程学会高级会员、北京电子制造装备行业协会常务理事、电子科技大学兼职教授、中科院光电研究院兼职研究员、复旦大学微电子学院兼职教授等。
带领百余人重大科技研究攻关团队,面向IC制造装备的重大技术需求,围绕纳米级运动精度的生成,在超精密机械系统设计、超精密测量、超精密运动控制等方面,开展系统、深入的基础理论与关键技术研究。主持国家科技重大专项项目及国家基础科学研究计划课题,研制出超精密工件台系统、大行程气浮/磁浮平面电机、六自由度纳米精度微动台等半导体制造装备核心部件,掌握了IC制造装备包括超精密机械设计与制造、超精密激光干涉测量与标定、纳米精度高动态运动控制、高性能主动/被动隔振等具有自主知识产权的系列关键技术。
撰写学术专著2部;发表学术论文总数171篇,其中SCI收录54篇、EI收录166篇,他引250次;申请中国发明专利130余项,其中93项已授权,22项已公开;申请21项PCT专利,其中10项美国授权;此外申请实用新型专利30余项,其中23项已授权。

讲授课程

现代机电工程

研究领域

超精密动力学系统与控制

纳米精度工程与测控技术

IC制造装备机电系统等超精密机械与测控相关科技领域


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